专利
专利名称：负偏压温度不稳定性检测电路及其检测方法
专利号：201210435238.8
专利名称：针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置
专利号：PCT/CN2015/077779
专利名称：晶片定位装置及方法
专利号：PCT/CN2014/095845
专利名称：磁控溅射腔室及磁控溅射设备
专利号：PCT/CN2014/095760
专利名称：机械卡盘及等离子体加工设备
专利号：PCT/CN2014/095759
专利名称：磁控管及磁控溅射设备
专利号：PCT/CN2014/095758
专利名称：静电卡盘、腔室和静电卡盘的制作方法
专利号：PCT/CN2014/095353
专利名称：顶盖装置及工艺设备
专利号：PCT/CN2014/095290
专利名称：工艺腔室以及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/095338
专利名称：工艺腔室以及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/095339
专利名称：加热腔室及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/095084
专利名称：衬底上的孔隙沉积工艺及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/094380
专利名称：半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/093104
专利名称：片盒定位装置以及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/092378
专利名称：用于反应腔的屏蔽结构
专利号：PCT/CN2014/089667
