专利
专利名称：阻抗匹配方法及阻抗匹配系统
专利号：PCT/CN2014/085352
专利名称：预清洗腔室及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2014/083709
专利名称：加热腔室及半导体加工设备
专利号：PCT/CN2013/090223
专利名称：磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备
专利号：PCT/CN2013/089562
专利名称：射频电源系统和利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法
专利号：PCT/CN2013/089080
专利名称：物理气相沉积装置
专利号：PCT/CN2013/087775
专利名称：芯片的阻挡层及其制备方法
专利号：201510801891.5
专利名称：阻变存储器及其制备方法
专利号：201510797248.X
专利名称：磁控管的安装机构及磁控溅射设备
专利号：201510784944.7
专利名称：承载装置及半导体加工设备
专利号：201510784146.4
专利名称：反应腔室
专利号：201510777620.0
专利名称：进气组件及反应腔室
专利号：201510781116.8
专利名称：装卸手
专利号：201510778736.6
专利名称：下电极及半导体加工设备
专利号：201510779507.6
专利名称：一种微电子加工设备及方法
专利号：201510766094.8
