专利
专利名称：预清洗腔室及半导体加工设备
专利号：201410476179.8
专利名称：一种遮蔽盘传输装置及反应腔室
专利号：201410459629.2
专利名称：晶片预清洗腔室及半导体加工设备
专利号：201410455191.0
专利名称：一种薄膜沉积设备
专利号：201410443115.8
专利名称：半导体设备腔室状态显示控制的方法及装置
专利号：201410352900.2
专利名称：一种加热腔室及半导体加工设备
专利号：201410335083.X
专利名称：一种加热腔室及半导体加工设备
专利号：201410335948.2
专利名称：加热控制装置及物理气相沉积设备
专利号：201410286251.0
专利名称：一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构
专利号：201410241015.7
专利名称：一种新型冷却水盘结构
专利号：201410230721.1
专利名称：一种顶针机构、反应腔室及半导体加工设备
专利号：201410240737.0
专利名称：一种预清洗腔室及半导体加工设备
专利号：201410213303.1
专利名称：一种遮挡盘及反应腔室
专利号：201410213271.5
专利名称：一种传输装置及半导体加工设备
专利号：201410230510.8
专利名称：一种反应腔室及半导体加工设备
专利号：201410202122.9
