专利
专利名称：晶片检测方法及设备
专利号：201310752625.9
专利名称：PVD设备
专利号：201310752085.4
专利名称：一种传输装置及等离子体加工设备
专利号：201310750803.4
专利名称：升降系统及等离子体加工设备
专利号：201310750767.1
专利名称：安装辅助工具
专利号：201310752050.0
专利名称：PVD腔室遮挡盘检测装置和PVD腔室
专利号：201310751929.3
专利名称：物理气相沉积设备的产能计算方法及系统
专利号：201310750694.6
专利名称：一种射频滤波器及半导体加工设备
专利号：201310752343.9
专利名称：多频匹配器及等离子体装置
专利号：201310751652.4
专利名称：PVD设备冷泵再生控制方法及装置
专利号：201310751078.2
专利名称：一种遮挡盘传输装置、反应腔室及等离子体加工设备
专利号：201310750950.1
专利名称：反应腔室及等离子体加工设备
专利号：201310750911.1
专利名称：一种反应腔室及等离子体加工设备
专利号：201310750712.0
专利名称：一种隔离窗固定结构以及腔室
专利号：201310750685.7
专利名称：PVD去气加热腔
专利号：201310750635.9
