专利

专利名称：腔室压力读取方法及设备
专利号：201310750473.9
专利权人：
时间：2013-12-31
专利名称：遮挡盘检测装置、检测方法、反应腔室及半导体加工设备
专利号：201310750296.4
专利权人：
时间：2013-12-31
专利名称：传输系统及半导体加工设备
专利号：201310750274.8
专利权人：
时间：2013-12-31
专利名称：一种隔离窗固定结构以及腔室
专利号：201310749675.1
专利权人：
时间：2013-12-31
专利名称：一种基座支撑结构以及腔室
专利号：201310747095.9
专利权人：
时间：2013-12-30
专利名称：一种射频脉冲系统及其阻抗匹配方法
专利号：201310746422.9
专利权人：
时间：2013-12-30
专利名称：去气腔室
专利号：201310745435.4
专利权人：
时间：2013-12-30
专利名称：一种溅射系统
专利号：201310737548.X
专利权人：
时间：2013-12-29
专利名称：磁控组件和磁控溅射设备
专利号：201310739572.7
专利权人：
时间：2013-12-29
专利名称：防止反应腔室内发生打火的沉积方法及反应腔室
专利号：201310738004.5
专利权人：
时间：2013-12-29
专利名称：离化率检测装置及方法
专利号：201310695110.X
专利权人：
时间：2013-12-17
专利名称：一种加热灯的监控方法
专利号：201310698072.3
专利权人：
时间：2013-12-16
专利名称：一种加热腔室
专利号：201310685118.8
专利权人：
时间：2013-12-10
专利名称：一种新型的PVD磁控溅射腔室托盘检测装置
专利号：201310595515.6
专利权人：
时间：2013-11-22
专利名称：晶圆传输系统的支撑结构
专利号：201310581032.0
专利权人：
时间：2013-11-18
上一页