专利
专利名称：一种磁控管的磁场强度的调节方法
专利号：201310583353.4
专利名称：顶针机构及等离子体加工设备
专利号：201310581074.4
专利名称：反应腔室及等离子体加工设备
专利号：201310572242.3
专利名称：温度监控装置及等离子体加工设备
专利号：201310547435.3
专利名称：一种一体式新型PVD腔室结构
专利号：201310537376.1
专利名称：一种用于反应腔的屏蔽结构
专利号：201310533349.7
专利名称：一种加热腔室
专利号：201310526264.6
专利名称：一种顶针升降装置和反应腔室
专利号：201310484481.3
专利名称：阻抗匹配方法及阻抗匹配系统
专利号：201310388807.2
专利名称：预清洗腔室及等离子体加工设备
专利号：201310341787.3
专利名称：磁场调节装置及等离子体加工设备
专利号：201310316327.5
专利名称：一种线圈支撑装置及等离子体加工设备
专利号：201310302887.5
专利名称：一种冷泵再生的控制方法和系统
专利号：201310279718.4
专利名称：加热腔室及等离子体加工设备
专利号：201310228234.7
专利名称：电磁铁线圈组件、半导体加工设备及其控制方法
专利号：201310203813.6
