专利
专利名称：一种磁控溅射设备及方法
专利号：201310185242.8
专利名称：密封转接件及半导体工艺设备
专利号：201310179631.X
专利名称：用于驱动磁控管的驱动机构及磁控溅射加工设备
专利号：201310145279.8
专利名称：一种磁控溅射设备及磁控溅射方法
专利号：201310131017.6
专利名称：工艺控制方法、系统和半导体设备
专利号：201310045990.6
专利名称：磁控管组件及磁控溅射设备
专利号：201310029452.8
专利名称：反应腔室及具有它的等离子体设备
专利号：201310029533.8
专利名称：一种冷泵的加热系统
专利号：201310025739.3
专利名称：机械手和半导体设备
专利号：201310022780.5
专利名称：磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备
专利号：201210562303.3
专利名称：反应腔室及具有其的等离子体设备
专利号：201210563098.2
专利名称：反应腔室及磁控溅射设备
专利号：201210558373.1
专利名称：半导体设备及其加热器
专利号：201210544030.X
专利名称：磁控溅射源驱动装置及磁控溅射加工设备
专利号：201210539550.1
专利名称：下电极以及等离子体加工设备
专利号：201310685502.8
