专利
专利名称：一种喷嘴清洗装置及清洗方法
专利号：201510571023.2
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2015-09-09
专利名称：一种工艺单元排废积液检测装置
专利号：201510411467.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2015-07-14
专利名称：半导体接口单元的接口密封装置
专利号：201510297496.8
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2015-06-03
专利名称：一种自动示教用无线通信晶圆系统及方法
专利号：201310562246.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-11
专利名称：一种机械手自动示教系统及方法
专利号：201310562249.7
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-11
专利名称：一种提高传片速度的机械手移动方法
专利号：201310557499.1
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-08
专利名称：用于半导体设备内的晶圆缓存装置
专利号：201310553729.7
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-07
专利名称：幕状显影喷嘴
专利号：201310557724.1
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-07
专利名称：可变温度幕状显影装置
专利号：201310554878.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-07
专利名称：一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置
专利号：201310553853.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-07
专利名称：一种点接触式真空吸盘
专利号：201310542164.2
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-05
专利名称：一种化学液供给系统
专利号：201310544894.6
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-05
专利名称：一种半导体设备用滤风装置
专利号：201310541017.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-05
专利名称：一种显影液分类回收处理装置及方法
专利号：201310536267.8
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-01
专利名称：晶圆加热装置
专利号：201310539096.4
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-01