专利
专利名称：涂胶喷嘴分布装置和方法
专利号：201310526298.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：涂胶显影机的工艺模块结构及布局方法
专利号：201310529037.9
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：一种涂胶显影机的工艺模块布局方法
专利号：201310526302.8
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：一种基板周边吸附烘烤结构
专利号：201310529289.1
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：涂胶显影机的快捷传送晶圆方法
专利号：201310525845.8
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法
专利号：201310526288.1
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：一种光刻胶涂布轨迹的实施方法
专利号：201310524314.7
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：一种用于化学液喷洒的摆臂装置及其喷洒方法
专利号：201310524336.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：一种夹持晶圆的承片台装置
专利号：201310525986.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：轴向贴合式过温保护装置
专利号：201310521272.1
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-28
专利名称：一种带清洗部件的液体喷洒装置
专利号：201310522843.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-28
专利名称：一种紧凑型片针升降机构
专利号：201310507823.9
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-23
专利名称：一种带有液体去泡功能的供给装置
专利号：201310488954.7
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-17
专利名称：一种用真空实现不同浓度液体的分离回收装置
专利号：201310481584.4
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-15
专利名称：一种带晶片位置检测器的液体喷洒回收装置
专利号：PCT/CN2013/084950
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-10