专利
专利名称：一种机械手碰撞保护装置
专利号：201310437065.8
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-09-22
专利名称：一种半导体处理系统中的流体脱泡装置和方法
专利号：201310368461.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-08-20
专利名称：双涂胶单元共用喷嘴架构
专利号：201510424217.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2015-11-02
专利名称：一种半导体设备用冷却盘装置
专利号：103136743.0
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2015-07-17
专利名称：量产涂胶显影机的硬件配置工艺参数方法
专利号：I544541（授权号）
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2014-06-27
专利名称：晶圆浸泡装置
专利号：103122202（受理号）
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2014-04-11
专利名称：一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法
专利号：201410146171.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-11-06
专利名称：一种单电机驱动双摆臂转动的装置
专利号：201310553873.0
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置
专利号：201310528876.9
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-09
专利名称：一种液体定量供给装置
专利号：201310469511.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-15
专利名称：一种化学液供给装置
专利号：201210460722.6
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-14
专利名称：一种显影喷头
专利号：201210456790.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-13
专利名称：一种液体喷洒回收装置
专利号：201210455236.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-09
专利名称：超声波喷嘴处排风装置
专利号：201210448427.9
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-06
专利名称：片盒倾斜及归位装置
专利号：201210439420.0
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-10-30