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专利
专利名称:
密节距小焊盘铜线键合双IC芯片堆叠封装件及其制备方法
专利号:
201110408630.9
专利权人:天水华天科技股份有限公司;华天科技(西安)有限公司
时间:2011-12-09
专利名称:
一种用于铝的化学机械抛光液及使用方法
专利号:
201310727881.2
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-28
专利名称:
一种提高二氧化硅去除速率的化学机械抛光液及其应用
专利号:
201310731820.3
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种二氧化硅颗粒改性的制备方法及应用
专利号:
201310731816.7
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种化学机械抛光液及使用方法
专利号:
201310729188.9
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种化学机械抛光液
专利号:
201310729231.1
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种应用于STI领域的化学机械抛光液及其使用方法
专利号:
20130729222.2
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种化学机械抛光液
专利号:
201310731761.X
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-26
专利名称:
一种化学机械抛光液及其应用
专利号:
201310728668.3
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
专利号:
201310728655.6
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种化学机械抛光液以及抛光方法
专利号:
201310726698.0
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种化学机械抛光液以及抛光方法
专利号:
201310727945.9
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
专利号:
201310727942.5
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
专利号:
201310727947.8
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
专利名称:
一种用于钴阻挡层抛光的化学机械抛光液
专利号:
201310727883.1
专利权人:安集微电子(上海)有限公司
时间:2013-12-25
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