专利
专利名称：一种化学机械抛光液在抑制钴腐蚀速率中的应用
专利号：201310728654.1
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-25
专利名称：一种化学机械抛光液以及抛光方法
专利号：201310726697.6
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-25
专利名称：一种碱性化学机械抛光液在提高钽抛光速率中的应用
专利号：201310697614.5
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-18
专利名称：一种化学机械抛光液及其使用方法
专利号：201310697623.4
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-18
专利名称：一种用于抛光二氧化硅基材的化学机械抛光液
专利号：201310596299.7
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-11-22
专利名称：一种用于抛光钽的化学机械抛光方法
专利号：201310597273.4
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-11-22
专利名称：一种化学机械抛光液及其应用
专利号：201310596267.7
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-11-22
专利名称：一种化学机械抛光液及其应用
专利号：201310580945.0
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-11-18
专利名称：一种碱性阻挡层化学机械抛光液
专利号：201310354652.0
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-14
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201310354653.5
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-14
专利名称：一种用于抛光低介电材料的化学机械抛光液
专利号：201310354645.0
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-14
专利名称：一种化学机械抛光液及其应用
专利号：201310354927.0
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-01
专利名称：一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法
专利号：201310319470.X
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-07-26
专利名称：一种碱性抛光液及抛光方法
专利号：201310027550.8
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-01-24
专利名称：一种用于多层铜互连的化学机械抛光液及工艺
专利号：201210585146.8
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-28