专利
专利名称：一种用于多层铜互连的化学机械抛光液及工艺
专利号：201210584545.2
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种用于多层铜互连的化学机械抛光液及工艺
专利号：201210584552.2
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种化学机械抛光抛光方法
专利号：201210585149.1
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种化学机械抛光抛光方法
专利号：201210584555.6
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种化学机械抛光液及其应用
专利号：201210567934.4
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-24
专利名称：一种化学机械抛光液及抛光方法
专利号：201210568015.9
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-24
专利名称：一种化学机械抛光液及抛光方法
专利号：201210567952.2
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-24
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201210546342.4
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-17
专利名称：一种化学机械抛光浆料的应用
专利号：201210545114.5
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-14
专利名称：一种化学机械抛光液及其应用
专利号：201210540804.1
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-13
专利名称：一种金属化学机械抛光浆料及其应用
专利号：201210528946.6
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-10
专利名称：一种磷酸酯表面活性剂在自停止抛光中的应用
专利号：201210528270.0
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-12-10
专利名称：一种碱性化学机械抛光液
专利号：201210496768.3
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-11-29
专利名称：一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液
专利号：201210479475.4
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-11-22
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201210479004.3
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-11-22