专利
专利名称：一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法
专利号：201210441948.1
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-11-07
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201210411192.6
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-10-25
专利名称：一种碱性化学机械抛光液
专利号：201210396145.9
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-10-17
专利名称：一种碱性化学机械抛光液
专利号：201210396269.7
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-10-17
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201210362843.7
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-09-25
专利名称：一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液
专利号：102121464
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-06-18
专利名称：一种化学机械平坦化浆料及其应用
专利号：102118897
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-05-29
专利名称：一种碱性化学机械抛光液
专利号：201210012743.1
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-01-16
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201110445932.3
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2011-12-27
专利名称：一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液
专利号：201110437349.8
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2011-12-23
专利名称：一种金属化学机械抛光浆料及其应用
专利号：102145087
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-09
专利名称：一种磷酸酯表面活性剂在自停止抛光中的应用
专利号：102145086
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-12-09
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：PCT/CN2013/001374
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-11-12
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：PCT/CN2013/000979
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-22
专利名称：一种碱性化学机械抛光液
专利号：PCT/CN2013/000980
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-08-22