专利

专利名称：Gummel Poon模型上实现射频相关性噪声方法
专利号：201110115067.6
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-05-05
专利名称：MOS晶体管栅极电阻测试结构
专利号：201110072999.7
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-03-25
专利名称：一种硅通孔的制作方法
专利号：201110247196.0 
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-08-25
专利名称：射频电感的电路模型
专利号：201110243885.4 
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-08-24
专利名称：嵌入式射频电阻模型及建模方法
专利号：201110238540.X 
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-08-19
专利名称：锗硅异质结双极型三极管功率器件及制造方法
专利号：201110230795.1 
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-08-12
专利名称：BiCMOS工艺中的垂直寄生型PNP器件
专利号：201110212579.4 
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2011-07-28
专利名称：一种全包围栅结构的形成方法
专利号：201410652852.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-11-17
专利名称：一种全隔离结构的制作方法
专利号：201210545605.X
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-12-14
专利名称：一种电迁移可靠性测试结构
专利号：201210564557.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-12-24
专利名称：一种晶圆缺陷的检测系统和方法
专利号：201210585636.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种晶圆缺陷检测方法
专利号：201210092225.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-03-31
专利名称：用于视频成像的显微物镜光学系统
专利号：201210418310.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-10-26
专利名称：干涉显微物镜光学系统
专利号：CN201310468484.8
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-10-10
专利名称：研磨机
专利号：PCT/CN2016/090026
专利权人：同上
时间：2016-07-14
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