专利

专利名称：一种用于探测带电粒子的粒子探测装置
专利号：201610285009.0
专利权人：同上
时间：2016-05-03
专利名称：研磨机
专利号：201510415977.4
专利权人：同上
时间：2015-07-15
专利名称：研磨丝调整机构以及研磨丝调整方法
专利号：201510415699.2
专利权人：同上
时间：2015-07-15
专利名称：扫描电镜中具有多级机械对准机构的对准装置及其方法
专利号：201210177106.X   
专利权人：同上
时间：2012-05-31
专利名称：利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备
专利号：20121017710.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-05-31
专利名称：用于计算光源入射到介质的散射电磁场分布的方法
专利号：201210144797.3
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2012-05-10
专利名称：基于倾斜狭缝的自动对焦方法和系统
专利号：201510822396.2
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2015-11-24
专利名称：硅片吸盘
专利号：201510323807.3
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2015-06-12
专利名称：半导体器件的图像处理
专利号：201611048584.5
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2016-11-24
专利名称：成像系统中像面的一种准直方法
专利号：201611093349.X
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2016-12-01
专利名称：具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法
专利号：201610414477.3
专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
时间：2016-06-13
专利名称：一种多层存储台装置
专利号：201410001185.8
专利权人：七星电子
时间：2014-01-02
专利名称：一种半导体设备炉体排气装置
专利号：201610930727.9
专利权人：七星电子
时间：2016-10-31
专利名称：一种基于光电信号的半导体热处理设备工艺门位置状态监测方法
专利号：201610929337.X
专利权人：七星电子
时间：2016-10-31
专利名称：一种半导体热处理设备工艺门位置状态监测方法
专利号：201610930728.3
专利权人：七星电子
时间：2016-10-31
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