专利
专利名称：一种半导体热处理设备工艺门状态检测方法
专利号：201610929465.4
专利名称：一种提高生产效率和可靠性的热处理设备工艺控制方法
专利号：201610970963.3
专利名称：一种基于状态管理的工艺控制系统调度方法
专利号：201610972333.X
专利名称：一种基于实时系统的热处理设备温度控制方法
专利号：201610930628.0
专利名称：一种炉体装卸装置高度调整机构
专利号：201610973555.3
专利名称：一种炉体装卸装置定位机构
专利号：201610970993.4
专利名称：一种半导体设备下沉式炉体装卸工装
专利号：201610960152.5
专利名称：一种半导体设备微环境控氧控压系统
专利号：201610970763.8
专利名称：一种半导体设备晶圆盒密封装置
专利号：201610929334.6
专利名称：一种半导体设备反应腔室压力控制装置及方法
专利号：201610962237.7
专利名称：一种应用于热处理设备硅片传输调度的装置及方法
专利号：201610972333.X
专利名称：一种半导体立式炉设备异常恢复的方法
专利号：201610930730.0
专利名称：一种热处理装置的快速风冷结构
专利号：201610968368.6
专利名称：一种热处理设备热电偶安装固定装置
专利号：201610959734.1
专利名称：一种具有防撞功能的传片机械手
专利号：201610921265.4
