专利

专利名称：一种工艺过程中工艺管压力控制的装置及方法
专利号：201610921266.9
专利权人：七星电子
时间：2016-10-21
专利名称：一种工艺管排气管路加热装置及控制方法
专利号：201610921716.4
专利权人：七星电子
时间：2016-10-21
专利名称：安全传输硅片的机械手及方法
专利号：201511026648.7
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：多指机械手片叉的校准方法
专利号：201511023889.6
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：优化硅片承载装置维护周期的方法
专利号：201511021438.9
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：用于修正离线示教数据的机械手及方法
专利号：201511022412.6
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：一种硅片的安全运输方法
专利号：201511022415.X
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：一种硅片安全运输方法
专利号：201511021465.6
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：硅片承载装置中硅片的安全放置方法
专利号：201511021420.9
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：硅片承载装置中硅片的安全拾取方法及系统
专利号：201511023511.6
专利权人：七星电子
时间：2015-12-31
专利名称：一种消除氧热施主对少子扩散长度影响的方法
专利号：201510863269.7
专利权人：七星电子
时间：2015-12-01
专利名称：一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置
专利号：201521133777.1
专利权人：七星电子
时间：2015-12-30
专利名称：一种立式热处理装置
专利号：201610058939.2
专利权人：七星电子
时间：2016-01-28
专利名称：一种具有分布图像传感单元的硅片分布状态检测方法及装置
专利号：PCT/CN2015/082293
专利权人：七星电子
时间：2015-06-25
专利名称：硅片分布状态图像组合检测方法及装置
专利号：PCT/CN2015/082295
专利权人：七星电子
时间：2015-06-25
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