专利
专利名称：半导体设备承载区域的硅片分布状态组合检测方法及装置
专利号：PCT/CN2015/082296
专利名称：基于机械手移动的硅片分布状态组合检测方法及装置
专利号：201510336808.1
专利名称：一种具有分布图像传感单元的硅片分布状态检测方法及装置
专利号：201510336946.X
专利名称：一种硅片分布状态光电图像组合扫描方法及装置
专利号：201510337586.5
专利名称：一种基于图像的硅片分布状态识别方法及装置
专利号：201510337910.3
专利名称：半导体设备承载区域的硅片分布状态图像检测方法及装置
专利号：201510337924.5
专利名称：半导体设备承载区域的硅片分布状态光电检测方法及装置
专利号：201510337060.7
专利名称：半导体热处理设备的晶片装载装置的调度控制方法及系统
专利号：201510505748.1
专利名称：一种半导体热处理设备的晶片调度控制方法及系统
专利号：201510505285.9
专利名称：用于降温炉体的进排风系统
专利号：201520084047.0
专利名称：一种用于降温炉体的进排风系统
专利号：201510060784.1
专利名称：一种快速降温热处理系统
专利号：201510031743.X
专利名称：一种用于快速降温的炉体
专利号：201510032496.5
专利名称：烤炉体装置
专利号：201530033128.3
专利名称：一种烤炉体装置
专利号：201510057014.1
