专利

专利名称：晶圆承载器、热处理装置及热处理方法
专利号：201510055590.2
专利权人：七星电子
时间：2015-02-03
专利名称：一种热量排放装置
专利号：201420761700.8
专利权人：七星电子
时间：2014-12-05
专利名称：一种储片盒换气歧管
专利号：201520248103.x
专利权人：七星电子
时间：2015-04-22
专利名称：一种压紧装置及具有该压紧装置的热处理设备
专利号：201420652645.9
专利权人：七星电子
时间：2014-11-04
专利名称：半导体扩散设备的石英舟旋转装置
专利号：201520835235.2
专利权人：七星电子
时间：2015-10-26
专利名称：一种半导体工艺设备参数调整方法
专利号：201410654247.5
专利权人：七星电子
时间：2014-11-17
专利名称：一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法
专利号：201410554332.4
专利权人：七星电子
时间：2014-11-17
专利名称：一种热偶固定装置及温度测量装置
专利号：10201407539x
专利权人：七星电子
时间：2014-12-02
专利名称：一种热偶固定装置及温度测量装置
专利号：103140976.0
专利权人：七星电子
时间：2014-11-26
专利名称：一种热偶固定装置及温度测量装置
专利号：US14501024
专利权人：七星电子
时间：2014-09-30
专利名称：LPCVD设备的控制参数自校正方法与装置
专利号：PCT/CN2014/089059
专利权人：七星电子
时间：2014-10-21
专利名称：应用于CVD成膜工艺的膜厚流量建模方法及膜厚调节方法（modeling methord and system and film thickness adjustment for cvd film forming process）
专利号：PCT/CN2015/073021
专利权人：七星电子
时间：2014-04-28
专利名称：一种工艺管排气装置
专利号：201410200372.9
专利权人：七星电子
时间：2014-05-13
专利名称：一种半导体设备的真空控制系统及真空控制方法
专利号：201410174560.9
专利权人：七星电子
时间：2014-04-28
专利名称：基板装卸载单元机基板处理系统
专利号：201410174214.0
专利权人：七星电子
时间：2014-04-28
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