专利
专利名称：应用于CVD成膜工艺的膜厚流量建模方法及在线优化方法
专利号：201410730097.1
专利名称：一种检验设备耐久性的测试方法
专利号：201410200310.8
专利名称：一种半导体设备仓储柜搁置架类型配置方法
专利号：201410200319.9
专利名称：半导体批处理设备仓储柜搁置架类型配置方法
专利号：201410201232.3
专利名称：一种提高判断体铁值可信度的方法
专利号：201410200552.7
专利名称：用于半导体热处理设备温度控制系统中的温度补偿方法
专利号：201410307013.3
专利名称：应用于半导体热处理设备温度控制系统中的温度补偿方法
专利号：201410307129.7
专利名称：热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统
专利号：201410307082.4
专利名称：应用于CVD成膜工艺的膜厚流量建模方法及膜厚调节方法
专利号：201410174251.1
专利名称：一种晶圆承载装置和晶圆承载系统
专利号：201420234328.5
专利名称：一种硅片承载装置和承载系统
专利号：201420234706.X
专利名称：一种半导体设备自动炉门开启控制和完成检测的方法
专利号：201410174566.6
专利名称：一种优化半导体立式炉设备中工艺片成膜均匀性的方法
专利号：201410174514.9
专利名称：一种应用于CVD成膜工艺的膜厚调节优化方法
专利号：201410730080.6
专利名称：晶圆位置调节装置
专利号：201410076562.4
