专利
专利名称：桥接通讯模块及方法
专利号：201410058338.2
专利名称：上位机失效处理方法和装置
专利号：201410072416.4
专利名称：一种用于半导体热处理设备温度的监控方法及系统
专利号：201410058270.8
专利名称：一种立式炉的保温桶
专利号：201410058282.0
专利名称：一种用于半导体工艺设备的工艺门水平调节装置
专利号：201410058361.1
专利名称：一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法
专利号：201410306241.9
专利名称：一种物料使用情况的监控管理方法及系统
专利号：201410058284.X
专利名称：一种基于串级控制的微环境压力调度方法
专利号：201410042944.5
专利名称：功率控制器通信方式自动切换方法及系统
专利号：201410117706.6
专利名称：一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调度方法
专利号：201410042947.9
专利名称：一种半导体工艺中控制晶圆冷却的方法
专利号：201410043195.8
专利名称：一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
专利号：201410077189.4
专利名称：一种热偶夹紧装置
专利号：201320883559.4
专利名称：一种基于物料供应系统模型的流量控制方法
专利号：201410307167.2
专利名称：一种热偶固定装置
专利号：201420067335.0
