专利
专利名称：半导体热处理炉的管路连接结构
专利号：201420066686.X
专利名称：半导体工厂设备的分布式管理系统
专利号：201410058363.0
专利名称：一种水冷装置
专利号：201320883532.5
专利名称：半导体设备运动传输模块的异常处理方法
专利号：201410058365.X
专利名称：报警信息的存储方法及存储装置
专利号：201410043025.X
专利名称：一种集成式水冷装置/一种分段式水冷专利
专利号：201320884878.7
专利名称：一种排风装置
专利号：201420074184.1
专利名称：可快速风冷的热外处理装置
专利号：201410058258.7
专利名称：一种新型热偶升降装置
专利号：201410174681.3
专利名称：半导体工艺的指令执行的控制方法
专利号：201410058368.3
专利名称：半导体工艺的报警处理方法
专利号：201410058336.3
专利名称：一种基于模型的热电偶的故障诊断与处理方法及系统
专利号：201410058381.9
专利名称：一种用于半导体热处理设备的温度控制等效方法
专利号：201410058329.3
专利名称：用于热处理的快速升降温炉体
专利号：201410058383.8
专利名称：一种半导体设备超温与断偶报警的处理装置及方法
专利号：201410072702.0
