专利
专利名称：半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
专利号：201410072418.3
专利名称：半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
专利号：201410076579.X
专利名称：一种立式热处理设备的测温装置
专利号：201420234698.9
专利名称：一种半导体设备安全门互锁系统
专利号：201410076584.0
专利名称：一种分段式加热装置
专利号：201320858933.5
专利名称：一种炉门控制机构
专利号：201320859115.7
专利名称：半导体设备门的密封装置
专利号：201410072260.X
专利名称：一种排气调节装置
专利号：201320844349.4
专利名称：一种晶元加工装置
专利号：201320845049.8
专利名称：一种冷却水控制系统
专利号：201320845188.0
专利名称：风机过滤单元
专利号：201410010252.2
专利名称：一种进风装置
专利号：201320858887.9
专利名称：半导体设备的硅片承载区域氧含量控制方法及控制装置
专利号：201310753245.7
专利名称：一种半导体设备工艺气路显示部件
专利号：201320881824.5
专利名称：一种带有排气的冷却水供给装置及控制方法
专利号：201310753017.X
