专利

专利名称：面向半导体制造设备的逻辑耦合测试方法
专利号：201210006779.9
专利权人：清华大学
时间：2012-01-11
专利名称：支持多种通信类型数据采集卡间通信的可组装式电路板
专利号：201110008592.8
专利权人：清华大学
时间：2011-01-14
专利名称：热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置
专利号：201410310128.8
专利权人：清华大学
时间：2014-07-01
专利名称：一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法
专利号：201310656962.8
专利权人：清华大学
时间：2013-12-06
专利名称：一种提高偏心旋转磁控溅射系统的准直性方法
专利号：201310575131.8
专利权人：清华大学
时间：2013-11-15
专利名称：一种手动便携抬升装置
专利号：201310397381.7
专利权人：清华大学
时间：2013-09-04
专利名称：测量静电卡盘的静电力的装置
专利号：201310251181.0
专利权人：清华大学
时间：2013-06-21
专利名称：磁控溅射源移动磁体最优运动规律的计算方法
专利号：201310153699.0
专利权人：清华大学
时间：2013-04-27
专利名称：用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室
专利号：201210016664.8
专利权人：清华大学
时间：2012-01-18
专利名称：光谱分析系统
专利号：PCT/CN2014/089330
专利权人：
时间：2014-10-23
专利名称：薄膜厚度测量装置
专利号：201310717708.4
专利权人：
时间：2013-12-23
专利名称：匹配器损耗功率的计算方法及装置
专利号：201510175414.2
专利权人：
时间：2015-04-14
专利名称：等离子体刻蚀工艺中氟原子密度的光谱检测方法及系统
专利号：201410489941.6
专利权人：
时间：2014-09-23
专利名称：等离子体源装置
专利号：201410444054.7
专利权人：
时间：2014-09-02
专利名称：等离子体放电装置
专利号：201410443324.2
专利权人：
时间：2014-09-02
上一页