专利
专利名称：多光栅真空紫外光谱仪
专利号：201410345840.1
专利名称：射频功率测量系统
专利号：201410265422.1
专利名称：研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统
专利号：201410253719.6
专利名称：可同时测量多条谱线的时间分辨发射光谱测量系统
专利号：201310421583.0
专利名称：多通道激光吸收光谱测量系统
专利号：201310412853.1
专利名称：等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统
专利号：201410315611.5
专利名称：去除PECVD装置的电荷的系统及其控制方法
专利号：201410049076.3
专利权人：清华大学,沈阳拓荆科技有限公司
时间：2014-02-12
专利名称：光谱分析系统
专利号：201310525282.2
专利名称：高气压差分抽气粒子束质谱测量系统
专利号：201310495825.0
专利名称：高压纳秒脉冲电源装置
专利号：201310436461.9
专利名称：波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置
专利号：201310421925.9
专利名称：匹配网络的损耗功率标定方法及系统
专利号：201310414932.6
专利名称：Method and device for simulation particle etching or depositional evolution and computer readable medium
专利号：PCT/CN2014/091040
专利名称：Method for modeling etching yield and etching surface evolution simulation method
专利号：US2015/0227650 A1
专利名称：粒子刻蚀或沉积演化仿真方法和计算机可读介质
专利号：201480076956.8
