专利

专利名称：蒙特卡洛和元胞自动机融合的刻蚀、沉积过程仿真方法
专利号：201410222091.3
专利权人：清华大学
时间：2014-05-23
专利名称：一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法
专利号：201210489760.4
专利权人：大连理工大学
时间：2012-11-27
专利名称：一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法
专利号：201210293958.5
专利权人：大连理工大学
时间：2012-08-17
专利名称：一种等离子体刻蚀工艺中刻蚀产额的建模方法
专利号：201310306649.1
专利权人：清华大学
时间：2013-07-19
专利名称：基于元胞自动机的刻蚀表面演化模型压缩方法
专利号：201310303807.8
专利权人：清华大学
时间：2013-07-18
专利名称：面向三维元胞模型中确定刻蚀粒子到达表面的方法
专利号：201310303479.1
专利权人：清华大学
时间：2013-07-18
专利名称：一种刻蚀和沉积工艺三维元胞信息存储结构及操作方法
专利号：201310218939.0
专利权人：清华大学
时间：2013-06-04
专利名称：一种等离子体刻蚀工艺中刻蚀产额的建模方法
专利号：201210526667.6
专利权人：清华大学
时间：2012-12-08
专利名称：面向三维元胞模型刻蚀工艺中确定粒子入射角度的方法
专利号：201210385043.7
专利权人：清华大学
时间：2012-10-11
专利名称：一种化学气相沉积过程的三维模拟方法
专利号：201110391099.9
专利权人：清华大学
时间：2011-11-30
专利名称：一种等离子干法三维刻蚀模拟方法
专利号：201110135120.9
专利权人：清华大学
时间：2011-05-24
专利名称：一种数值模拟等离子体放电的系统及方法
专利号：PCT/CN2015/095219
专利权人：
时间：2015-11-20
专利名称：一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法
专利号：201510414721.1
专利权人：
时间：2015-07-15
专利名称：一种用于测定等离子体重微量粒子浓度的吸收光谱
专利号：201510414713.7
专利权人：
时间：2015-07-15
专利名称：一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
专利号：201510263218.0
专利权人：
时间：2015-05-22
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