专利

专利名称：硫酸铜电镀液的应力消除剂
专利号：ZL 201210187292.5
专利权人：-
时间：2015-07-20
专利名称：带网状支撑框架的低应力微拉伸试样的制备方法
专利号：ZL 201110386375.2
专利权人：-
时间：2015-07-19
专利名称：远程氢等离子体表面处理制备超薄铜籽晶层的方法及其应用
专利号：ZL.201310714616.0
专利权人：-
时间：2015-07-18
专利名称：一种铜互连结构及其制备方法
专利号：ZL.201310700297.8
专利权人：-
时间：2015-07-17
专利名称：一种集成电路铜互连结构及其制备方法
专利号：ZL.201310701169.5
专利权人：-
时间：2015-07-16
专利名称：采用脉冲电镀铜方式实现铜互连的方法
专利号：ZL.201310540962.1
专利权人：-
时间：2015-07-15
专利名称：一种脉冲电镀方法及其应用
专利号：ZL.201310500309.2
专利权人：-
时间：2015-07-14
专利名称：在扩散阻挡层上制备超薄铜籽晶层的方法及其应用
专利号：ZL.201310503143.X
专利权人：-
时间：2015-07-13
专利名称：一种电镀铜的镀液及其制备方法
专利号：ZL.201310493581.2
专利权人：-
时间：2015-07-12
专利名称：一种铜互连结构制备方法
专利号：ZL.201310235894.8
专利权人：-
时间：2015-07-11
专利名称：一种集成电路铜互连结构及其制备方法
专利号：ZL.201310235819.1
专利权人：-
时间：2015-07-10
专利名称：一种铜互连结构及其制备方法
专利号：ZL.201310235765.9
专利权人：-
时间：2015-07-09
专利名称：一种原位沉积阻挡层和籽晶层的系统和方法
专利号：ZL.201310235743.2
专利权人：-
时间：2015-07-08
专利名称：一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法
专利号：ZL.201210554308.1
专利权人：-
时间：2015-07-07
专利名称：一种铜互连结构及其制备方法
专利号：ZL 201210389472.1
专利权人：-
时间：2015-07-06
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