专利

专利名称：三轴微机械磁场传感器
专利号：201611020374.5 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2016-11-17
专利名称：扭转式微机械磁场传感器及其制备方法
专利号：201611019468.0 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2016-11-17
专利名称：极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法
专利号：201510844166.6 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-26
专利名称：一种双凸台结构的热电能量采集器及其制作方法
专利号：201510791242.1 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-17
专利名称：一种电磁式振动传感器及其制备方法
专利号：201510791836.2 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-17
专利名称：一种静电驱动结构及其制作方法
专利号：201510779710.3 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-13
专利名称：微机械硅谐振器的温度补偿结构及制作方法
专利号：201510780724.7 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-13
专利名称：基于局域共振体的声子晶体结构及其制作方法
专利号：201510778969.6 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-13
专利名称：一种硅柱通孔互连结构及其制作方法
专利号：201510770462.6 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-12
专利名称：一种热电能量采集器及其制作方法
专利号：201510766680.2 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-11-11
专利名称：一种基于体硅加工工艺的微型热电能量采集器的制备方法
专利号：201510683899.6 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-10-20
专利名称：双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法
专利号：201510532111.1 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-08-26
专利名称：微机械磁场传感器及其应用
专利号：201510051986.X 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-01-30
专利名称：基于声子晶体的微流控结构、微流控器件及其制作方法
专利号：201410332258.1 
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2014-07-14
专利名称：一种三维真空传感器及其制备方法
专利号：201210473448.6
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-11-20
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