专利

专利名称：微机械磁场传感器及其应用
专利号：201210469660.5
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-11-19
专利名称：微机械磁场传感器及其应用
专利号：201210470215.0
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-11-19
专利名称：微机械磁场传感器及其应用
专利号：201210470225.4
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-11-19
专利名称：微机械谐振器
专利号：201210399267.3
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-10-18
专利名称：一种微机械传感器及其制作方法
专利号：201210170049.2
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-05-29
专利名称：微透镜模具结构及其制作方法
专利号：201210169407.8
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-05-28
专利名称：三维热电能量收集器及其制作方法
专利号：201210048653.8
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-02-28
专利名称：基于金诱导非晶硅结晶的低温键合方法
专利号：201110298262.7
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-09-28
专利名称：一种微机械圆盘谐振器及制作方法
专利号：201110283452.1
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-09-22
专利名称：双通道射频MEMS开关及其制造方法
专利号：201110257242.5
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-09-01
专利名称：一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法
专利号：201110213982.9
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-07-27
专利名称：一种具有亚微米间隙微机械谐振器及制作方法
专利号：201110059554.5
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-03-11
专利名称：一种半导体塑封结构
专利号：201320454363.3
专利权人：无锡华润安盛科技有限公司
时间：2013-07-26
专利名称：一种框架的封装结构及其应用方法
专利号：201310538303.4
专利权人：无锡华润安盛科技有限公司
时间：2013-11-01
专利名称：一种MEMS传感器蘸胶装置及其应用的蘸胶方法
专利号：201310530012.0
专利权人：无锡华润安盛科技有限公司
时间：2013-10-31
上一页