专利
专利名称：半导体器件及其制造方法
专利号：201410404902.1
专利名称：自对准接触制造方法
专利号：201410585062.3
专利名称：自对准接触制造方法
专利号：201410585105.8
专利名称：自对准接触制造方法
专利号：201410584842.6
专利名称：半导体器件及其制造方法
专利号：201410804497.2
专利名称：半导体器件及其制造方法
专利号：201410804444
专利名称：一种退火设备的监控方法
专利号：201410274033.5
专利名称：FinFet器件的制造方法
专利号：201410199311.5
专利名称：一种半导体器件的制造方法
专利号：201410196176.9
专利名称：一种半导体器件的掺杂方法
专利号：201410105802.9
专利名称：束流检测装置
专利号：201621350199.1
专利名称：束流检测装置
专利号：201611129377.2
专利名称：传输矫正机构
专利号：201620348350.1
专利名称：传输矫正机构
专利号：201610255587.X
专利名称：供料装置和离子源装置
专利号：201520438997.9
