专利

专利名称：等離子體處理裝置及其電感耦合線圈
专利号：101151273
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：自動頻率調諧源和偏置射頻電源的電感耦合等離子處理室
专利号：101151245
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一種等離子處理系統
专利号：101151235
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：腔室的壓力控制方法
专利号：101151232
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：光刻膠的去除方法
专利号：101151228
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：刻蝕裝置及對應的刻蝕方法
专利号：101151223
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：光刻膠的去除方法
专利号：101149903
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-12-25
专利名称：通孔側壁形貌修飾方法
专利号：101145142
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：刻蝕工藝監控信號的處理方法和刻蝕終點控制方法
专利号：101145137
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：一種具有雙外殼的等離子體處理裝置及改善等离子体处理装置均一度的方法
专利号：101145126
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：一種等離子反應器
专利号：101145124
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：用於電感耦合式等離子體刻蝕室的氣體傳送裝置
专利号：101223319
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：一種用於電感耦合等離子處理裝置的連接卡口
专利号：101223318
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：一種應用於等離子體處理裝置的氣體噴淋頭
专利号：101143732
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-22
专利名称：用於等離子體處理腔室內部的部件及製造方法
专利号：101144481
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-11-28
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