专利
专利名称：等离子体处理装置及其隔离装置
专利号：201310596754.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-22
专利名称：一种静电卡盘及其等离子体处理室
专利号：201310630080.4
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-29
专利名称：用于等离子体反应器的阻抗匹配网络
专利号：201310613328.6
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-27
专利名称：一种等离子体处理装置及其运行方法
专利号：201310751529.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-31
专利名称：一种等离子体刻蚀方法和系统
专利号：201310728956.9
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-25
专利名称：等离子体去胶工艺的终点检测系统和方法
专利号：201310705627.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-19
专利名称：等离子体刻蚀系统
专利号：201310718975.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-23
专利名称：一种静电夹盘
专利号：201310718868.0
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-23
专利名称：等离子体刻蚀系统
专利号：201310719121.7
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-23
专利名称：气体分布板
专利号：201310654159.0
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-05
专利名称：射频功率发射装置的支撑装置
专利号：201310533009.4
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：一种射频滤波电路和静电夹盘
专利号：201310705604.1
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-19
专利名称：等离子体处理腔室及其去夹持装置和方法
专利号：201310504954.1
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-10-23
专利名称：一种电感线圈组及电感耦合等离子体处理装置
专利号：201310627135.6
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-28
专利名称：等离子体刻蚀装置及其刻蚀方法
专利号：201310533284.6
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-10-31