专利
专利名称：一种等离子体处理腔室及其静电夹盘
专利号：201310287406.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-09
专利名称：等离子体处理装置及其温度测试装置
专利号：201310308451.7
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-22
专利名称：一种硅通孔刻蚀装置
专利号：201310751543.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-31
专利名称：硅通孔的形成方法
专利号：201310626970.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-28
专利名称：半导体结构的形成方法
专利号：201310646324.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-12-03
专利名称：硅通孔形成方法
专利号：201310626965.7
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-11-28
专利名称：静电吸盘的制造方法，静电吸盘及等离子体处理装置
专利号：201310227182.1
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-06-08
专利名称：静电吸盘的制造方法，静电吸盘及等离子体处理装置
专利号：201310228849.X
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-06-08
专利名称：一种等离子体处理腔室及其基台
专利号：201310183299.4
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-05-17
专利名称：活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统
专利号：201310365442.1
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-08-20
专利名称：等离子体处理装置的清洁方法
专利号：201310294705.4
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-12
专利名称：等离子体处理装置的清洁方法
专利号：201310294419.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-12
专利名称：等离子体反应腔室阻抗自动匹配方法
专利号：201310359236.X
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-08-16
专利名称：一种等离子体处理装置
专利号：201310299430.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-17
专利名称：一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备
专利号：201310299429.0
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-17