专利

专利名称：一种射频组合装置以及等离子体处理设备
专利号：201220241914.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-25
专利名称：等离子体处理装置及其电感耦合线圈
专利号：201210175948.1
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-31
专利名称：自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室
专利号：201210175897.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-31
专利名称：一种等离子处理系统
专利号：201210317750.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-08-31
专利名称：腔室的压力控制方法
专利号：201210134283.X
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-04-28
专利名称：光刻胶的去除方法
专利号：201210262373.7
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-07-26
专利名称：刻蚀装置及对应的刻蚀方法
专利号：201210243815.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-07-13
专利名称：刻蚀工艺监控信号的处理方法和刻蚀终点控制方法
专利号：201210398754.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-10-18
专利名称：同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置
专利号：201220267752.0
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-06-07
专利名称：一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置及等离子体处理设备
专利号：201220224035.X
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-15
专利名称：抗刻蚀层、半导体处理装置及制作方法
专利号：201110210146.5
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-07-26
专利名称：一种静电吸盘
专利号：201210063136.8
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-12
专利名称：一种电容耦合式的等离子体处理装置及其基片加工方法
专利号：201110219413.5
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-08-02
专利名称：印制电路板软硬结合基板挠性区域的制作方法
专利号：201210560252.0
专利权人：深圳市新宇腾跃电子有限公司
时间：2012-12-21
专利名称：柔性印制电路板盲孔的制作方法
专利号：201210558289.X
专利权人：深圳市新宇腾跃电子有限公司
时间：2012-12-20
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